Кафедра создана на физическом факультете Ростовского Государственного университета по инициативе академика В.И. Минкина и декана факультета профессора Рабкина Л.М.
Первым заведующим кафедрой избран доцент Юзюк Юрий Иванович

получено по профилю научной деятельности кафедры: спектрометр комбинационного рассеяния света, сканирующий зондовый микроскоп, электронный сканирующий микроскоп, учебная лаборатория сканирующей зондовой микроскопии

состоялся благодаря усилиям профессорско-преподавательского состава кафедры одновременно с первыми выпусками специалистов в области нанотехнологий и микросистемной техники в ведущих ВУЗах страны

За счет присоединения лаборатории оптической и ИК спектроскопии и части коллектива кафедры физики твердого тела физического факультета ЮФУ

На кафедру поставлен рентгеновский дифрактометр, установка для напыления тонких пленок, безазотный детектор-приставка к электронному микроскопу для элементного анализа