Атомно-силовой микроскоп Интегра-Терма-Прима
(Производство NT-MDT, Зеленоград, Россия)
лаборатории зондовой микроскопии кафедры нанотехнологии
Южного Федерального Университета
 а) |
|
- Рисунок 1.
- а) Общий вид АСМ Интегра;
- б) Нагревательный элемент установлен для проведения эксперимента;
- в) Измерительная головка установлена, АСМ готов к проведению эксперимента.
Некоторые измерения, выполненные на атомно-силовом микроскопе Интегра-Терма-Прима
Трансформация доменной структуры титаната бария при изменении температуры
(пьезо-силовая микроскопия)
Рельеф поверхности
Рисунок 2. АСМ изображение рельефа поверхности тонкой пленки титаната бария.
Доменная структура
 |
 |
 |
 |
|
T=25°C |
T=60°C |
T=80°C |
T=90°C |
 |
 |
 |
 |
|
T=100°C |
T=105°C |
T=110°C |
T=115°C |
|
Рисунок 3. Распределение амплитуды ПСМ отклика при различных значениях температуры. |
|||
Пьезо-силовая микроскопия тонких плёнок
| Рельеф | Рельеф | PFM-Mag | PFM-Mag |
|
|
|
|
|
|
а |
б |
||
в
- Рисунок 3.
- а) АСМ изображение рельефа поверхности;
- б) Локальная поляризация области под кантилевером;
- в) 3D изображение поляризованной области.
Зависимость пьезо-сигнала от постоянного напряжения
 |
 |
 |
| Рисунок 4. Графики зависимости амплитуды пьезо-сигнала от величины напряженности внешнего постоянного электрического поля. | ||
Доменная структура монокристалла титаната свинца
|
а) Рельеф поверхности |
б) Амплитуда PFM-сигнала |
в) Фаза PFM-сигнала |
 |
 |
 |
- Рисунок 5.
- а) АСМ изображение рельефа поверхности тонкой пленки PbTiO3;
- б) Распределение амплитуды ПСМ-сигнала;
- в) Распределение фазы ПСМ-сигнала.
Пьезо-силовая микроскопия в вакууме
|
Рельеф |
PFM-Mag*cos |
|
 |
 |
- Рисунок 6.
- АСМ изображение рельефа поверхности (слева);
- Локальная поляризация образца кантилевером (справа).